供应上海煜志CVD系统高温管式炉
YHG-1206I-CVD系统由滑动式管式炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现**的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路**质量流量计控制不同气体。是为生长石墨烯、研发的*炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
1、 高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成,较高真空可达0.0001Pa;
2、 可配合压强控制仪控制气体压力,实现负压的**控制;
3、 数字质量流量控制系统是由多路质量流量计,流量显示仪等组成,实现气体的流量的精密测量和控制;
4、 每条气体管路均配备高压逆止阀,保证系统的安全性和连续均匀性;
5、 采用KF**法兰密封,装卸方便快捷;
6、 管路采用世界*级Swagelok卡套连接,不漏气;
7、 *温、过压时,自动切断加热电源及流量计进气,使用安全可靠;
8、炉体可移动,能够使加热部分**降温。
主要技术参数:
炉体结构 双层炉壳间配有风冷系统,有效保证外壳表面温;
日本技术真空吸附成型的**高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
炉子底部装有一对滑轨,移动平稳
炉子可以手动从一端滑向另一端,实现**的加热和冷却
支撑两端安装油压缓冲器
炉盖可开启,可以实时观察加热的物料
电源 电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW
炉管 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数*小
尺寸:Φ40/60/80/100*1200mm
法兰及支撑 SUS304不锈钢**法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空
一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合
加热系统 加热元件采用**合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、经久**
加热区长度:410mm
恒温区长度:200mm
工作温度:≤1150℃
较高温度:1200℃
升温速率:10℃/min
温控系统 温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
30段升降温程序
测温元件:N型热电偶
恒温精度:±1℃
混气系统 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格:0~1SLM
流量精度:±1.5%
真空系统 采用双*旋片真空泵,真空度可达5x10-1 Torr
数显式真空压力表
可选高真空系统及真空计,压力控制系统等
可选配件 混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。