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联系方式P-170 探针式轮廓仪
P-170是cassette-to-cassette探针式轮廓仪，将行业良好的P-17台式系统的测量性能和经过生产验证的HRP?-260的机械传送臂相结合。 这样的组合为机械传送臂系统提供了*低的拥有成本，适用于半导体，化合物半导体和相关行业。 P-170可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达200mm而无需图像拼接。 该系统结合了UltraLite?传感器、恒力控制和*平扫描平台，因而具备出色的测量稳定性。通过点击式平台控制、*视和侧视光学系统以及带光学变焦的高分辨率相机等功能，程序设置简便**。P-170具备用于量化表面形貌的各种滤镜、调平和分析算法，可以支持2D或3D测量。并通过图案识别、排序和特征检测实现全自动测量。 image.p*gimage.p*g image.p*gimage.p*g 主要功能 · 台阶高度：几纳米至1000μm · 微力恒力控制：0.03至50mg · 样品全直径扫描，无需图像拼接 · 视频：500万像素高分辨率彩色摄像机 · 圆弧校正：消除由于探针的弧形运动引起的误差 · 软件：简单易用的软件界面 · 生产能力：通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化 · 晶圆机械传送臂：自动加载75mm至200mm不透明（例如硅）和透明（例如蓝宝石）样品 image.p*g 主要应用 · 台阶高度：2D和3D台阶高度 · 纹理：2D和3D粗糙度和波纹度 · 形状：2D和3D翘曲和形状 · 应力：2D和3D薄膜应力 · 缺陷复检：2D和3D缺陷表面形貌 image.p*g 工业应用 · 半导体 · 化合物半导体 · LED：发光二极管 · MEMS：微机电系统 · 数据存储 · 汽车
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