实用型扫描电子显微镜KYKY-2800
KYKY-2800系列
实用型扫描电子显微镜
项目 KYKY-2800B KYKY-2800BZ KYKY-2800A KYKY-2800AZ
分辨率 4.5nm(30KV)
放大倍数 15x~250,000x
电子枪类型 发叉式钨丝阴极
加速电压 0~30KV
透镜系统 三级电磁透镜
物镜光阑 三个光阑可在真空外选择调节
样品台 手动 X/Y轴自动 手动 X/Y轴自动
行程 X 0~50mm(大样品台0~80mm)
Y 0~50mm
Z 0~25mm(大样品台0~30mm)
R 360o
T ‘-5o ~90o (大样品0o~90o)
探测器 二次电子探测器,背散射电子探测器(可选),X-ray能谱仪(可选)
真空系统 扩散泵 扩散泵 分子泵 分子泵
KYKY-2800 Series
Practical Type SEM
Model KYKY-2800B KYKY-2800BZ KYKY-2800A KYKY-2800AZ
Resolution 4.5nm(30KV)
Magnification 15x~250,000x
Electron gun Hair fork tungsten cathode
accel voltage 0~30KV
Lens System Level 3 electromagnetic lens
Lens Isis three diaphragm can be adjusted without vacuum
Stage
Manual X/Y axis Automatic Manual X/Yaxis
Automatic
Move Range X 0~50mm(large stage 0~80mm)
Y 0~50mm
Z 0~25mm(large stage 0~30mm)
R 360o
T ‘-5o ~90o (large stage 0o~90o)
Detector secondary electron detector ,backscattered electron detector (optional),X-ray Energy Disperse Spectroscopy (optional)
Vacuum system diffusion pump diffusion pump molecular pump molecular pump