青岛晶诚电子设备RCA清洗机半导体、LED芯片、光伏、MEMS、集成电路清洗酸、碱、有机、声波兆声波清洗全自动、半自动
青岛晶诚电子设备有限公司位于青岛市城阳区空港工业区。公司主要从事半导体、集成电路、光学、LED、太阳能光伏等湿制程设备的研发、生产、销售及技术服务。
产品广泛应用于半导体材料、集成电路、MEMS、功率器件、光学器件、LED、芯片、分立器件、平板显示、光伏等行业。
公司已通过并严格执行ISO9001:2015质量管理体系标准。在自主研发设备的同时,引进和吸收技术,密切加强与国内外研究机构的合作,进一步完善自身设备品质。已获得多项技术。
经过多年发展,公司拥有一批技术经验丰富的工程师、技术人员、售后服务人员及管理人员。公司以“精益求精,诚信为本”为理念,为客户提供的产品和服务。
公司主营产品有:
半导体设备:硅片清洗机、晶圆清洗机、湿法刻蚀机、RCA清洗机、SPM清洗机、BOE清洗机、显影机、有机清洗机、刷片台、Lift Off、去胶清洗机、兆声清洗机、碱腐蚀机、晶圆电镀设备、单片旋干机、甩干机、石英炉管清洗机、化学湿台、Wet Bench、Wet Station、部件清洗机、片盒清洗机、化学品供液系统、研磨液供应系统、通风橱、化学品柜。
太阳能光伏设备: 硅料硅块清洗机、硅芯硅棒清洗机 、石墨件煮沸机 、清洗制绒设备、磷硅玻璃清洗机 、石英管清洗机。
光学器件设备:声清洗机、兆声清洗机、刻蚀机、研磨后清洗机。
设备名称 RCA清洗机
用途 晶圆的RCA清洗
操作方式 手动/半自动/自动
适用领域 半导体材料、集成电路、MEMS、LED芯片、功率器件等
适用工艺 SC-1、SC-2、SPM、BOE、声(兆声)清洗、QDR等;
清洗方式 槽式清洗
可清洗尺寸 2寸---12寸晶圆
主体材质 全不锈钢框架,外包进口PP、PVC板
槽体材质 石英、PVDF、PTFE、NPP等
温控精度 ±1℃
安全防护 自动安全门、漏液报警、漏电保护、液位保护、急停、声光报警系统
模块化设计 满足客户多种工艺及产能的定制化要求
可编程菜单,方便用户操作,直观
实时流程显示,可控性强
多级权限密码,方便管理,安全可靠
自动保存生产数据
可实现远程控制
可实现功能 药液管理系统(自动供液、自动补液、循环过滤)、在线加热、甩干、电导率检测、恒温系统、百级FFU等