气体质量流量控制器
概要
气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,简称MFC)利用温差量热法原理,可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。 本产品采用人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。 MFC出厂通常用氮气(N2)标定。 质量流量的单位规定为:SCCM (标准毫升/分),SLM (标准升/分) 标准状态规定为:温度---27* K(0℃),气压—-101325 Pa(760mm Hg) F.S.(Full Scale):满量程值
产品特点
本产品具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。
流量规格(N2标定)
0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
0~1,2,3,5,10,20,30 SLM
注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM~30SLM范围内任选,例如123SCCM。
输入输出信号