阿洛斯STG-AT01型微量水蒸气发生器
1 产品简介
本产品设计用于蒸发uL/min级的水,并将其混合到载气中,形成浓度均匀的混合气体。相对于传统鼓泡法(bubbler)可调性和稳定性不足的缺点,STG-AT01所得到的水气浓度连续稳定,而且线性可调。本产品包含三个部分:(1)精密微量泵;(2)CEM3000型可控蒸发器;(3)载气流量计,确保从水计量、水蒸发、载气计量、水气载气混合、输出防冷凝等每一个步骤都受控。
2 规格参数
(1)蒸发量 uL/min:1-100
(2)流量总量精度%:优于±1
(3)流量波动%:优于±2
(4)输出温度℃:≤200
(5)较大耐压 bar:15
(6)功率 kW:0.6 @220VAC
(7)输出接口:Ф6直管
(8)外形尺寸mm:400*260*250
(9)净重 kg:5
(10)可加装配件:已内置预热混合器