纳米机械手、纳米操纵仪
加拿大TNI公司LF系列纳米机械手是市面上自动化程度高的纳米操作仪器。它具有定位精度高、重复精度高、基本无漂移、闭环控制等优点。
除可配备钨探针外,还可选配纳米镊子、纳牛级力学传感器、MEMS加热模块等各种附件。
性能指标
系统整体
系统尺寸:13×13×2.5厘米
机械手数量: 1 – 4 个
机械手粗动
移动方式:粘滑运动
移动范围: 10 mm in XY, 5 mm in Z
大移动速度: >3 mm/sec
小移动步幅: 45 μm/sec
开环移动精度: 0.1 nm
闭环移动精度: 1 nm
准确性:<5 nm
漂移: <0.35 nm/minute
软件功能
探针自动移动至鼠标划过的任意位置
探针移动速度随电镜图像放大倍数自动调整
探针坐标位置的存在/调用
探针位置实时3D 显示
传感器自动校准
等等