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纳米机械手、纳米操纵仪

更新时间:2022-06-12 信息编号:1495831
纳米机械手、纳米操纵仪
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加拿大TNI公司LF系列纳米机械手是市面上自动化程度高的纳米操作仪器。它具有定位精度高、重复精度高、基本无漂移、闭环控制等优点。 除可配备钨探针外,还可选配纳米镊子、纳牛级力学传感器、MEMS加热模块等各种附件。 性能指标 系统整体 系统尺寸:13×13×2.5厘米 机械手数量: 1 – 4 个 机械手粗动 移动方式:粘滑运动 移动范围: 10 mm in XY, 5 mm in Z 大移动速度: >3 mm/sec 小移动步幅: 45 μm/sec 开环移动精度: 0.1 nm 闭环移动精度: 1 nm 准确性:<5 nm 漂移: <0.35 nm/minute 软件功能 探针自动移动至鼠标划过的任意位置 探针移动速度随电镜图像放大倍数自动调整 探针坐标位置的存在/调用 探针位置实时3D 显示 传感器自动校准 等等
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