河南CZ-1050I单晶炉/多晶硅融化炉厂家
CZ -1050I型单晶炉/河南CZ-1050I单晶炉/多晶硅融化炉厂家
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CZ -1050I型单晶炉概述:
单晶炉是一种在惰性气体(氩气为主)环境中,用石墨电阻加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。
CZ -1050I型单晶炉性能特点:
1.该设备采用双层不锈钢水冷腔体,腔体经过热稳定处理。
2.籽晶提拉和坩埚升降采用进口谐波减速机构,传动比准确,稳定性好。
3.运动部件磁流体密封,保证了整个炉腔的真空度。
4.提升室和加热室采用水冷闸板阀隔离,可实现热场温度稳定的情况下,取出拉制成的单晶棒,配合二次加料机构可以连续生产,提高能效。
5.安全防爆阀设计,为设备的安全使用提供了保障。
CZ -1050I型单晶炉规格 参数
主机外形尺寸 7956mm×3433mm×2863mm
主炉室尺寸 φ1050×H900mm
提升室尺寸 φ310.9×H3000mm
晶体直径 6″,8″
投料量 180kg
热场规格 22″,24″
拉晶长度 1830mm
加热温度 1600℃
冷炉极限真空度 6.7×10-1Pa
主加热输出功率 165KW
主加热电压 55VDC
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