供应等离子清洗机

更新时间：2024-03-06 信息编号：2461394

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照明/电子/电气/通讯,电子,电子产品制造设备,蚀刻机

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供应等离子清洗机

我们将以客户的需求为准则，用高效完善的运作体系来持续满足客户需要，力求一次把事情做好，坚信较少的故障就是较低的成本，较少的维修就是较好的售后。长期以来在为客户提供高附加值产品的同时，追求与客户的生产工艺技术共同进步，彼此促长。并真诚、认真对待每一次合作的机会，以达到提高自身能力的目的.我们将与各界新老朋友携手共进、共创双赢！可存储100组工艺配方，随意调用。清洗时间、洁净压力、射频功率、工艺气体流量、设定可调。工艺参数受密码保护，分级密码管理查询。一键完成全自动工艺，实时故障报警、非法操作提示、清洗结束提示等。自动提醒系统维护、更换真空泵油等，避免机器过载、过老化情形下工作，延长使用寿命。气体质量流量计采用美国进口，由模拟量输入输出，量程为0～200sccm可在量程范围内无级调节，根据特殊的工艺要求可用PLC对质量流量计进行PID调节而实现真空度的控制。根据特殊的工艺要求可使用干泵，尾气处理设备，油过滤器，过滤返油装置等。电极结构（已申请专利）的高等离子通量设计能很好地提高等离子体的均匀性及稳定性。所有元器件及**部件采用进口，保证了整机的稳定性和使用寿命。真空泵采用进口旋片泵，是适用于等离子工艺环境使用的可长时间工作的体系，在抗氧化、耐腐等诸多方面积累了丰富的经验，使泵的寿命大大提高，并有效降低了泵的维护成本，泵的各项保护措施完善，提高了长时间工作极限，泵油为耐高温、抗氧化油，泵具有可自行缓解温度过高的散热体系，*水冷。泵体内置于机柜内部，使机器紧凑，占地面积小。自动控制系统采用PLC加触摸屏控制，所有工艺参数、工艺过程实时监控，并显示运行状态、报警记录和工艺曲线记录、工作时间纪录，适合维护，可以提供工艺参考。