纽瑞德全国低价供应高纯四氟化碳

更新时间：2020-04-22 信息编号：1137011

￥-

≥ 1

价格：
面议，请致电
关键词：
四氟化碳,高纯四氟化碳,

联系人：刘颖枫
在线联系： QQ
立即询盘查看联系方式

进入商铺

留言询盘

详情介绍

联系方式

纽瑞德全国低价供应高纯四氟化碳

产品名称:四氟化碳四氟化碳气体四氟甲烷全氟化碳产品等级：分析纯产品纯度：99.999% 包装规格：40L 英文名称:carbon tetrafluoride 英文别名:Tetrafluoromethane CAS:75-73-0 EINECS:200-896-5 分子式:CF4 分子量:88 物化性质:- 熔点:-184℃ 四氟化碳是目前微电子工业中用量大的等离子烛刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体。 1. 可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的烛刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。 2. 在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 3. 由于化学稳定性极强，CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。