供应及回收二手真空镀膜机二手真空连续镀膜线
更新时间：2024-01-08
信息编号：2340841
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主要规格及技术参数 2.1 镀膜室尺寸: (宽*深*高) 800MM*800MM*860MM 2.2 极限压力: ≤3*10-4pa 2.3 恢复真空抽气时间: ≤15min 2.4 镀膜室升压率: ≤0.8Pa/h 2.5 蒸发源: 磁偏转e型电子枪 QE6-20/4B (光偶定位)1套 功率: 6KW 2.6 射频轰击: 功率1000W 2.7 工件架: 公自转夹具 2.8 工件旋转: (5-25)r/min 转速连续可调 2.9 烘烤: 碘钨灯烘烤,烘烤温度≤300℃ 2.10 真空系统: a)K-600A 扩散泵(氟里昂冷阱,制冷单元用户自备) b)ZJY-150A 罗茨泵 c)2X-70 真空泵 d)2X-15 真空泵 2.11膜厚控制:预留安装孔 2.12水路: 采用标准城市饮用水或质量相当的水,进水温度不**25℃,水压不小于(2-2.5)* Pa 2.13 压缩空气: 清洁干燥气体,压力(5-7)* Pa 2.14 总工率: ~36KW 三相四线制380VAC 50HZ 3. 结构说明 3.1 本设备由下列部分组成 a)ZZSX-800E 主机 1台 b)真空操作柜 1套 c)DEF-6H 电子枪电源柜 1台 主机由机架,镀膜室,真空系统组成. 3.2 机架为长方体,架体由钢板和型材焊接组成.镀膜室装在机架上面,水冷单元和气动控制部分安装在机架后方. 3.3 镀膜室为立式前开门结构,全不锈钢材料制作,内表面抛光处理,外表面喷丸处理.镀膜室和门外壁焊有冷却水道.门上有两面个观察窗,下侧观察窗内装有活动挡板,硬质玻璃外面有一层铅玻璃以防X射线的辐射,里面为一层保护玻璃用弹簧卡圈固定,污染后可随时将其拆下清洗后再装上.外部装有暗色玻璃以保护眼睛.镀膜室底板上装有电子枪,气动挡板机构,碘钨灯烘烤装置以及备用孔.工作旋转驱动由**部引入,镀膜室内壁有可拆卸的不锈钢屏蔽板,便于清理膜屑.真空测量的规头既可装在镀膜定**部也可装在高阀上. 3.4真空系统由扩散泵,冷阱,高阀,前级阀,预抽阀,旁路阀,罗茨泵.前级泵,维持泵以及真空管道组成,手动操作. 3.5 电子枪以及相应的操作柜,请参照各自的使用说明书. 3.6电子柜是标准19英寸机架.它由真空控制,旋转控制及轰击控制等部分组成,各阀门控制是交流220V.真空操作为手动控制方式. 3.6.1 真空控制:采用按键开关和继电器作为控制元件.
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