MC-DG910C MC-DG911C流量计 质量流量计 气体质量流量控制器 英国WARWICK 深圳大鑫达代理
MC-DG910C MC-DG911C 金属密封气体质量流量控制器
◆ 极高精度及性能,流量可覆盖2sccm-50slm(相对于N2)
◆ 超高纯度及金属密封设计,适用于广泛的行业需求,包括腐蚀性气体
◆ 兼容RS485和模拟通讯模式,便于操作
◆ 多气体多量程控制可为客户大幅节省成本
规格
MC-DG910
MC-DG911C
Full Scale Range (N2 Eqv)
单气体2-5000sccm
单气体5-50SLM
Control Valve Type 阀门类型
常开式或常闭式螺线管 (NC or NO)
Fitting
接头
1/4'VCR or 1/4'Swagelok 兼容
IGS 底部/表面贴装(c或w密封)
Seals 密封
金属 Metal
Response Time 响应时间
≤1Sec(超过满量程10%)
Accuracy
精确性
25%-100%:≤±1%S.P (满量程25%到100%)
2%-25%: ≤ ±0.25%F.S (满量程2%到25%)
Linearity 线性度
≤ 满量程的±0.5%
Repeatability 重复性
≤ 满量程的±0.2%
Differential Pressure 压差
7 - 40psi
Leak lntegrity 漏率
Max:1x10-11Pa.m3/sec (He)
Control Range 控制范围
满量程的2-100%
Max Operating Pressure 高操作压力
70psi
Proof Pressure 承受压力
大值140psi
Communication Type 通讯模式
模拟0-5V / RS485
Input Power
输入功率
+15VDC ±2% at 100mA
-15VDC ±2% at 200mA
Command Signal控制信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>1MΩ)/Profibus 0-100%
Output Signal 输出模拟信号
模拟信号0-5 VDC(输入阻抗>2KΩ)/Profibus 0-100%
Surface Finish 表面处理
电解法抛光和超洁净 ≤ 5Ra
Temperature Range 温度范围
5-45 Deg C
Materials 材料
316LSS,316SS,PTFE,KM45
Weight 重量
1.0kg
1.2kg