供应测振仪/显微激光测振仪MLV-100/激光测震仪
显微激光测振仪MLV-100
简介
MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米级别,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
主要特点
●较高的空间分辨率
●对各种振动进行非接触测量
●多功能和精确的算法提供所有有用信息
●动态测量范围广 >90db
●设计紧凑、结构牢固
●使用红色激光,安全可见
●完整的解决方案:包含了光学、信号处理、软件以及数据采集
●便携,可固定于三角架
应用领域
●MEMS器件(微机电系统)的振动特性
●连续的频域振动特性
●MEMS的故障分析以及可靠性测试
●MEMS运动特性分析
参数
振 动 仪
点直径 大约10微米 *
频率响应范围 1Hz-100KHz,50KHz-1.5MHz *
测量速度范围 平面外 50mm/秒,500mm/秒,3m/秒
平面内 150mm/秒,1500mm/秒,9m/秒
低通滤波器 500Hz,2KHz,20KHz,100KHz,1.5MHz
*可以定制方案
显 微 镜
目镜 放大倍数 W.D. 光束直径
5X 34mm 30um
10X 34mm 20um
20X/50X 20mm/13mm 10um/2um
样 品 展 示
X-Y stage
尺寸 100 x100mm
移动范围 +/-10mm