干泵式氦质谱检漏仪TA-830D半导体行业专用
更新时间：2020-04-20
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干泵式氦质谱检漏仪TA-830D产品介绍 TA-830D型是一款配置无油干泵的氦质谱检漏仪。适用于对高清洁的真空设备进行检漏 干泵式氦质谱检漏仪TA-830D主要技术指标 小可检漏率：5×10-13Pa?m3/s 漏率显示范围：1×10-3—1×10-13Pa?m3/s 启动时间：≤3min 响应时间：≤1.0s 检漏口的高压力：1500Pa 干泵抽速：10m3/h（166L/MIN） 极限压强：5×10-4Pa 电源要求：220V，50Hz，单相，10A 工作环境：5-35℃ 相对湿度：≤80% 外形尺寸：550（W）×420（D）×700（H） 重量：65kg 干泵式氦质谱检漏仪TA-830D主要配置 1. 干泵检漏仪专用分子泵 2. 英国爱德华干泵 3. 配置标准漏孔 4. 美国AD放大器 5. 采用质谱专用模块 6. 台达触摸彩屏
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